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单晶生长炉
关键词：
单晶生长炉
所属分类：
产品描述
技术参数：
1、炉体：真空炉室尺寸Φ800*1200mm，双层通水炉壁用ICr18Ni9Ti不锈钢，炉门为侧开门，炉门上设有通水石英观察窗。
2、中频电源：产品应利用硅元件及IGBT模块将工频三相交流电源变换成单相中频电源。感应电源控制器使用不控整流技术，具有高功率因素（＞0.95），低电网污染，同时具有恒电流及恒功率二种控制方式，可始终保持控制器处于有效功率输出模式，适用于需要频繁起动或长时间运行。人机控制界面应具有通讯功能，RS-485连接方式，可通过通讯远程读写控制器内参数和运行状态。
1)中频功率：80kw
2)频率：2.5-8KHz（可选）
3)功率因数：>0.9
4)电源转换效率:>70-95%(中频电源在使用过程中随温度变化即功率和转换效率随之变化)
5)功率稳定精度：<0.2%
3、真空系统：
1)要求配备机械泵2X-8。
2)真空度：（冷态空载）≤5Pa(数显真空计)
3)进气流量：1~10L/min(可选配质量流量计)
4)微正压恒压自动控制:≤0~0.04Mpa
4、加热系统：需要中频感应加热，工作温度:100℃～2000℃，工作电源：AC380V/50HZ，测温方式:B型热电偶:
1)≤1200℃时功率控制
2)≥1200℃时温度控制
5、控温方式：需使用液晶触摸屏显示，设置更快捷,设备运行状态更直观，设定数据和操作都是图文界面，操作方便；针对数据的存储、输出，可通过USB接口复制数据到计算机上长期保存，能存储多条程序。50段编程式控温曲线，无需值守（全自动升温、恒温、降温）。
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技术参数： 1、炉体：真空炉室尺寸Φ800*1200mm，双层通水炉壁用ICr18Ni9Ti不锈钢，炉门为侧开门，炉门上设有通水石英观察窗。 2、中频电源：产品应利用硅元件及IGBT模块将工频三相交流电源变换成单相中频电源。感应电源控制器使用不控整流技术，具有高功率因素（＞0.95），低电网污染，同时具有恒电流及恒功率二种控制方式，可始终保持控制器处于有效功率输出模式，适用于需要频繁起动或长时间运行。人机控制界面应具有通讯功能，RS-485连接方式，可通过通讯远程读写控制器内参数和运行状态。
